17. (问答题) 在VLSI设计中,对互连线的要求和可能的互连线材料是什么? (本题20.0分)

答案是:

标准答案:
互连线的要求    
低电阻值:产生的电压降最小;信号传输延时最小(RC时间常数最小化) 与器件之间的接触电阻低 长期可靠工作 可能的互连线材料 金属(低电阻率),多晶硅(中等电阻率),高掺杂区的硅(注入或扩散)(中等电阻率)
出自  青书学堂  >  黑龙江科技大学-电路分析基础(专升本)

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本题添加时间:2023/4/3 12:59:00